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- PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目 北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年，北京锗靶价格， 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作，为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。
公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
1.靶材的纯度，可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验； 2.晶粒度：要求晶粒越细小越好。
而且晶粒要尽可能均匀一致。
可以用光学显微镜检验； 3.密度：原则上，锗靶加工，靶材的密度越高越好。
密度越高，晶粒间隙越小，北京锗靶厂家，压制紧密，锗靶，靶材质量越好。
可以用称量法检验； 4.组织均匀性：对于两种成份以上的合成靶，特别是相互难融的成分，还可以做金相检验，看成分、组织是否均匀一致； 5.机械性能:有些靶材，如有色金属等可以要求一下。
石墨靶，好一点的，也有该要求。
检验用专门的机械性能试验机。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~ 溅射靶材 北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作，为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。
公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶中毒的解决办法 1、采用中频电源或射频电源。
2、采用闭环控制反应气体的通入量。
3、采用孪生靶 4、控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶中毒的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶中毒的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。
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